一項由美國前出口管制官員撰寫的新報告指出，中國晶片製造商已囤積約343台深紫外光（DUV）微影機，金額估計達數十億美元。報告作者警告，這些設備雖不如極紫外光（EUV）先進，但仍可透過改造生產7奈米晶片與人工智慧處理器用的先進記憶體，敦促華府協調盟友全面禁止對中國出口DUV。
這份報告由華府政策研究機構「技術與治國方略中心」在9月26日發表，作者為前美國出口管制官員布朗與前白宮、商務部技術政策顧問克罕。報告估計，截至2026年年初，中國晶片廠囤積的DUV中，約270台是荷蘭艾司摩爾（ASML）的Twinscan NXT:1980i，另有22台NXT:2050i、6台NXT:2100i，以及45台技術水準較低的機型。
報告指出，由於無法採購艾司摩爾最先進的EUV設備，中國晶片廠轉而大量依賴DUV生產高階半導體，部分型號並未列入西方出口禁令清單。中國在2024年斥資超過130億美元採購NXT:1980i，2025年又買了89台，財報顯示中國市場占艾司摩爾淨銷售額在2024年達41%、2025年達33%。
關鍵在於政策漏洞。荷蘭政府2023年9月起要求出口NXT:2000i及更先進的DUV須申請許可，之後這些型號已禁止出口中國；一年後禁令擴大到NXT:1980i，但該型號仍可透過個案審批出口。報告認為這留下重大漏洞，即使為成熟製程銷售的DUV，也可被轉用於先進晶片生產。
報告警告，若中國以2024至2025年的速度持續進口艾司摩爾DUV，未來5到10年內，中國囤積的DUV產能可能縮小、甚至消除美國與盟友目前在人工智慧晶片製造上的巨大優勢。
為了堵住漏洞，報告建議對中國全面禁售所有DUV，並限制零件更換與售後服務；同時建議華府與荷蘭政府協調，或單方面將美國出口管制擴展到使用美國技術的外國製造系統。
報告寫道，這樣的做法將確保美國在先進人工智慧晶片生產，以及由此衍生的人工智慧能力上，保持至少10年的領先優勢，並確保下一批先進晶圓廠落腳美國及其盟國，而非中國。
立法層面，美國國會兩黨議員在今年4月提出「硬體技術管制多邊協調法案」，目標對中國境內難以自主生產的晶片製造設備銷售與服務實施全面限制，明確鎖定DUV；部分聯邦參議員在9月再度呼籲通過法案。
這份報告為華府內部一場長期爭論提供了新數據：西方盟友是否該對運往中國的DUV實施全面封鎖。隨著人工智慧軍備競賽升溫，半導體設備管制的下一步走向，預料將牽動全球供應鏈布局。
